我国成功研制首台串列型高能氢离子注入机

近日，由中国原子能科学研究院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机成功出束，核心指标达到国际先进水平。这标志着我国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术，攻克了功率半导体制造链关键环节，为推动高端制造装备自主可控、保障产业链安全奠定坚实基础。

离子注入机是半导体制造关键设备，尤其是高能氢离子注入机研发难度大、技术壁垒高，我国长期依赖进口。原子能院依托在核物理加速器领域数十年的深厚积累，以串列加速器技术作为主要手段，破解一系列难题，完全掌握了串列型高能氢离子注入机从底层原理到整机集成的正向设计能力，打破了国外企业在该领域的技术封锁和长期垄断。此次高能氢离子注入机的成功研制，是核技术与半导体产业深度融合的重要成果，将有力提升我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力。