小量程气体质量流量控制器LF-A010（模拟型）

   产品特点/ Product features

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 0.2%。
  1
• 能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计。
  2
• 流量范围宽 - 从3 sccm 一直到3000 slm。
  3
• 耐高压等级 - 高达 10MPA。
  4
• 可拆卸式流量传感器。
  5
• 不受安装角度影响。
  6
• 能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容。
  7

• 电驱动阀超调。

  8

• 耐化学腐蚀阀门。

  9
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