气流控制系统

等离子体流动控制设备 产品介绍

   

LFIX系列气流控制系统由质量流量传感器、热式原件、质量流量调节阀和压力检测组件等组成，它利用流动的流体不同的流量效应而制成，其原理是采用量热法原理测量气体的质量流量，并分别控制各自气体的流量，进入混合器进行精密混合，将混合后的气体按需输出给用气点，同时设备自带多种测量原件对气体进行检测，保证混合的..性。

 

 

                                                                                                                                                                                                                                                                                               

  产品用途

   

 

广泛的应用于真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学化工实验设备、分析仪器、冶金材料工程、能源动力等各领域.

 

 

                                                                                                                                                                                                                                  

产品特点

    

 

气流控制系统能准确可靠的测量和控制气体质量流量，测量和控制精度高、零飘小，测量和控制范围宽，测量和控制的准确度不受环境温度和外界压力的影响，为半导体设备提供氮气控制及氮气温度的控制测量，保证半导体设备能够正常运行。